入門ビジュアル・テクノロジー よくわかる真空技術

発売日 2007.08.27
著者 (株)アルバック
判型 A5判/並製
ページ数 176
ISBN 978-4-534-04259-0
価格 ¥1,512(税込)

真空技術について知っておくべき知識を、基本から応用まで、イラスト図解でやさしく解説しています。真空のメリットから、真空を利用したさまざまな精密製造装置、表面加工処理まで、真空技術についての知識が一通り身につきます。

≪章立て≫
1章 真空とはどのような状態をいうのだろうか
2章 真空を利用した生活用品―身のまわりにある真空技術
3章 真空のつくり方・計り方(つくる装置/計る装置)
4章 真空を利用した薄膜加工技術
5章 真空産業の将来

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章立て

1章 真空とはどのような状態をいうのだろうか

  1 「真空」とは空間に何もない状態ではない 8

  2 真空を作るには、空間から気体分子を吸い出す 10

  3 真空を表す単位は移り変わってきた 12

  4 圧力に応じて「低真空」、「中真空」、「高真空」、「超高真空」、「極高真空」に分類 14

  5 空間の中に存在する気体分子の数を示す分子密度 16

  6 気体分子がどれだけまっすぐ飛べるかを表す平均自由行程 18

  7 物質の表面を気体分子が覆い尽くす時間を表す単分子層形成時間 20

  8 固体表面では気体吸着と脱離が常に起こっている 22

  9 見た目の面積を表す幾何学的表面積、表面粗さを加味した真表面積  24

  10 真空中の薄膜生成でよく用いられるプラズマとは 26

  11 真空中での温度は放射と伝導で伝わっていく 28

  [コラム] 大気圧の発見(トリチェリとパスカルの話) 30

2章 真空を利用した生活用品―身のまわりにある真空技術

  1 水分を凍らせて低圧で昇華させる凍結真空乾燥 32

  2 真空内で沸点の違いを利用する真空蒸留 34

  3 プラスチック板を金型に吸い付けて成形する真空成形 36

  4 空気を吸引して高濃度の酸素を作る酸素補給機能付ルームエアコン 38

  5 薄膜の多くは真空の中でこそ作られる 40

  6 携帯端末は多くの薄膜加工技術のかたまり 42

  7 薄型テレビの透明電極形成や液晶滴下・真空貼り合わせに真空技術は不可欠 44

  8 CD/DVDの反射膜(アルミニウム薄膜)も真空薄膜加工技術で成膜 46

  9 CCDなどデジカメの心臓部は薄膜技術の集大成 48

  10 最先端の真空技術が利用されているハイブリッドカー 50

  11 バイオテクノロジー分野でも活躍する真空技術 52

  12 加速度センサ内のデバイスはすべて真空中で作られる 54

  13 最先端医療機器・ペットは真空技術で支えられている 56

  14 ICカードやRFIDタグは真空薄膜技術で作られる 58

  15 真空容器内のプラズマ放電で作られるアモルファスシリコン太陽電池 60

  16 髭剃りの刃の表面コーティングにも利用されている真空内での硬質皮膜処理 62

  17 真空内の蒸着重合を応用して作られる魚の気を引くルアー 64

  18 メガネ・腕時計の表面加工にも真空技術が大活躍 66

  19 物質の表面分析は、真空中でこそ可能となる 68

  [コラム] マグデブルグの半球の実験(ゲーリッケの話) 70

3章 真空のつくり方・計り方(つくる装置/計る装置)

  1 真空をつくる基本的な装置 排気セット 72

  2 実際の排気セットは主ポンプ・補助ポンプ+各装置 74

  3 効率的に真空を作るための排気の手順 76

  4 排気時間を左右するコンダクタンス 78

  5 圧力による気体の流れを表す粘性流、中間流、分子流 80

  6 真空をつくるポイントは表面排気 82

  7 到達圧力をより低くするための表面処理と材料選定 84

  8 真空ポンプの原理と特徴 低真空領域のポンプ・高真空領域のポンプ 86

  9 求められる圧力と用途を考慮したポンプの使い分け 88

  10 真空計の種類とその使い分け 92

  11 機械的現象に基づく真空計 U字管真空計・マクラウド真空計 94

  12 気体の輸送現象に基づく真空計(1) ピラニ真空計 96

  13 気体の輸送現象に基づく真空計(2) スピニングロータ真空計 98

  14 気体中の電離現象に基づく真空計(1) 熱陰極電離真空計 100

  15 気体の電離現象に基づく真空計(2) 冷陰極電離真空計・極高真空計 102

  16 真空装置内の気体の種類が分かる分圧真空計 104

  17 真空の維持に欠かせない漏れ検出器(リークディテクタ) 106

  18 気体の流れを制御する真空バルブ 108

  [コラム] 宇宙は真空? 110

4章 真空を利用した薄膜加工技術

  1 真空を利用した薄膜堆積法にはいろいろな方法がある 112

  2 PVDの代表的手法 スパッタ成膜法 114

  3 真空中で材料を蒸発させて成膜する真空蒸着法 116

  4 真空蒸着法とスパッタ成膜法の比較 118

  5 絶縁物をスパッタするRF放電成膜法 120

  6 スパッタ膜の構造を決めるガス圧力と基板温度差 122

  7 成膜室でプラズマを立てないイオンビームスパッタ法 124

  8 化学反応で化合物の膜をつける反応性スパッタ法 126

  9 物質をイオン化して成膜するイオンプレーティング法 128

  10 モノマーを蒸発させて基板上で重合させる蒸着重合法 130

  11 原料ガスを分解・反応させて薄膜を形成するCVD法 132

  12 CVD法の様々な優れた特徴 134

  13 薄膜を形成するCVDプロセス 136

  14 特殊なCVD法 選択成長CVD法とALD法- 138

  15 堆積した薄膜を微細加工するエッチング法 140

  16 ウェットエッチングとドライエッチングの使い分け 142

  17 イオンビームで基板表面を削る イオンミリング法 144

  18 プラズマ中の反応性ガスイオンを引き込む反応性イオンエッチング法 146

  19 反応性イオンエッチングのプロセス 148

  20 エッチングの後処理とその他の話題 150

  21 シリコンに不純物を注入するイオン注入法 152

  22 浅い場所に多量のイオンを注入できるプラズマドーピング 154

  [コラム] 台風の目は真空? 156

5章 真空産業の将来

  1 真空技術の新しい活用(1) ナノパーティクル 158

  2 真空技術の新しい活用(2) カーボンナノチューブ 160

  3 技術戦略マップで重要な位置を占める真空技術 162

  4 真空産業の構造と売り上げの推移 164

  [コラム] ポンプが先か真空計が先か? 166

用語さくいん 167

著者プロフィール

(株)アルバック

電子部品・半導体の製造装置を製造する真空技術のリーディングカンパニー。東証1部上場企業。

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